本技术涉及激光微纳加工技术,特别是一种利用飞秒激光技术精细加工金刚石图案结构的方法。该方法包括精确控制飞秒激光系统的波长和能量密度,并将激光精确聚焦于金刚石样品表面,实现图案的精细加工。
背景技术
金刚石因其高杨氏模量、高热导率和极低的热膨胀系数,表现出优异的热、电及力学特性。在超高精度加工工具、微机电系统(MEMS)及其组件、坚固的光栅、惰性且环境稳定的医疗涂层以及适用于恶劣环境的电子设备中得到广泛应用。然而,由于金刚石的极高硬度、脆性及化学稳定性,加工过程尤为困难。传统加工方法,如研磨和磨削、电火花加工、磨料水射流加工等,在处理这种超硬材料时效率低下,耗时且费力。
激光加工作为一种非接触加工方式,已被证明是金刚石加工的有效手段之一。其中,纳秒激光进行金刚石钻孔、切割等工艺已相对成熟。然而,在光学和电子器件等精细应用中,纳秒激光因其热影响区域较大和热损伤问题难以进一步推广。
实现思路