本实用新型介绍一种高效吸气剂薄膜批量抽速检测设备,该设备由支架、进气系统、测试系统构成,并配备有专门的第一抽气系统,分别对进气系统和测试系统进行真空处理,以实现精确的批量抽速测试。
背景技术
新一代衍射极限储存环为了获得更低的束流发射度,使用了高梯度的磁铁,导致了磁铁的孔径变得更小,过小的磁铁的孔径限制了储存环真空室的孔径。由于小孔径真空室流导的限制,传统加速器中分散式的真空泵抽气方案已不能满足使用要求。非蒸散型吸气剂薄膜由于具有不受流导限制的抽速和低的表面放气,因而在真空管道内壁镀制吸气剂薄膜成为解决这个问题的理想方法。
对于吸气剂薄膜的性能测试尤为重要,其中抽速作为关键指标之一,现有的测试方法难以精确测量管道薄膜抽速。现有的吸气剂薄膜管道的黏附系数测量采用传输系数法测试,通过理论计算会出现在黏附系数大于一定值时两端压比突兀地增大,这与实际情况并不相符。
实现思路