静电感应掩膜电解加工技术:体波诱导表面波可视化装置与方法
2025-01-28 17:14
No.1333847715666468864
技术概要
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本技术涉及电解加工技术领域,特别是一种利用体波诱导表面波的静电感应掩膜电解加工的可视化装置与方法。该装置通过绝缘胶带将工件固定于带有方形通孔的绝缘挡板上,并插入电解槽中的卡槽,实现对电解加工过程的直观观察。
背景技术
掩膜电解加工利用阳极溶解原理将无光刻胶保护的区域选择性去除,是大批量制备金属微结构的主要技术之一,具有无毛刺、无加工应力、大批量、低成本等优势。然而,由于加工过程中光刻胶与工件之间形成了半封闭式微盲孔结构,掩膜电解加工过程中电解产物排出非常困难,使得被电解产物覆盖位置的加工速率较慢,未被覆盖位置的加工速率较快,进而导致加工均匀性较差。这种非均匀的加工结果严重影响了产品的一致性和可靠性。 为了解决微盲孔内的传质问题,中国发明专利CN107116274A提出了一种空化射流辅助掩膜电解加工方法,该方法利用空化射流电解液溃灭所形成的微型水射流排出电解产物,提高加工表面质量。中国发明专利CN106312206A提出了一种活动掩膜电解加工装置与方法,该方法将金属多孔介质紧贴于阳极工件,在多孔介质上方泵入电解液后,电解液从多孔介质四周流出,使极间传质顺畅,提高加工精度。中国发明专利CN117139754A提出了一种声表面波辅助掩膜电解的装置与方法,该方法利用声表面波声流去除电解产物,从而提高加工均匀性。 上述方法对掩膜电解加工技术的发展起到了一定的推动作用。然而,电解产物中气泡的排出问题却没有得到很好的解决。在微盲孔内,气泡附着力非常强,常规的方法难以将其有效去除。目前关于去除电解过程中气泡的方法较少,因此有必要发明一种有效去除气泡产物的装置与方法,并对加工过程的气泡衍化过程进行观测,发现气泡并及时排出,以提高加工均匀性。
实现思路
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该技术已申请专利,如用于商业用途,请联系技术所有人!
技术研发人员:
杜立群  杨晓臣  邬常昊  郗鸿凯  李奥奇
技术所属: 大连理工大学
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