制备金属或半金属膜的创新技术
2025-01-30 16:11
No.1334556610600902656
技术概要
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本技术涉及一种制备含有无机金属或半金属膜的新方法,包括步骤:(a)将金属或半金属化合物从气态沉积到固体基材上,以及(b)使固体基材在气态中与特定通式反应,以形成所需的膜层。
背景技术
实现思路
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该技术已申请专利,如用于商业用途,请联系技术所有人!
技术研发人员:
S·v·克伦克D·d·施魏因富特L·迈尔S·魏戈尼C·温特N·韦拉滕加西里卡图格T·卡鲁纳拉特
技术所属: 巴斯夫欧洲公司 韦恩州立大学.
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