创新硅氮聚合物制备技术
2025-02-02 08:38
No.1335529700709376000
技术概要
PDF全文
本技术介绍了一种创新的硅氮聚合物制备方法,该方法旨在制造用于固化形成二氧化硅薄膜的硅氮聚合物。制备过程涉及在氧气环境中解离氨气以获取氮源气体,并使用该氮源气体进行后续的聚合反应。
背景技术
CVD(化学气相沉积)指不同分压的多种气相状态反应物在一定温度和气压下发生化学反应来沉积薄膜。传统CVD工艺中,沉积薄膜一般为氧化物、氮化物、碳化物等化合物或多晶硅,在特定领域的薄膜生长采用的外延技术广义上也算CVD的一种。CVD按照反应条件的不同,例如压强、温度、反应源等,又可分为常压CVD(APCVD)、流体CVD(FCVD)、低压CVD(LPCVD)、等离子增强CVD(PECVD)、次常压CVD(SACVD)、高密度等离子体CVD(HDP-CVD)、流体CVD(FCVD)、原子层沉积(ALD)等。 其中,流体化学气相沉积(FCVD,Flowable CVD)工艺,需要使用远程等离子体设备先将氨气解离成氨自由基。然而,氨自由基又容易重新组合成氨气,实践研究发现,在沉积过程中通入一些氧气可以增加沉积速率。 除此以外,在沉积过程中,由于质量流量控制器(MFC)的校准问题导致硅源气体的流量会较于正常值低很多,导致沉积工艺中的晶圆出现薄膜发白的情况。 为了克服现有技术存在的上述缺陷,本领域亟需一种用于制备二氧化硅薄膜的硅氮聚合物的生成方法,通过在解离氨气的过程中增加氧气通入以及调整硅源气体和氮源气体的比例以改善制备二氧化硅薄膜的质量,提升FCVD工艺水平。
实现思路
阅读余下40%
技术概要为部分技术内容,查看PDF获取完整资料
该技术已申请专利,如用于商业用途,请联系技术所有人!
技术研发人员:
吕秋雨张士勇孙薇李俊红赵茹孟令玉薛国标
技术所属: 拓荆科技(上海)有限公司.
相关技术
具有分形沟槽的多孔吸液芯及其制备方法和相变传热器件 具有分形沟槽的多孔吸液芯及其制备方法和相变传热器件
一种具有穿孔翅片的螺旋管相变换热装置 一种具有穿孔翅片的螺旋管相变换热装置
一种3D打印混凝土流变性能调控方法 一种3D打印混凝土流变性能调控方法
一种用于晶圆Notch槽磨削的金刚石砂轮的制备方法 一种用于晶圆Notch槽磨削的金刚石砂轮的制备方法
一种水泥稳定碎石混合料的拌合装置 一种水泥稳定碎石混合料的拌合装置
树形结构的微通道换热器 树形结构的微通道换热器
用于碳化硅晶圆减薄砂轮的球形复合堆积磨料的制备方法 用于碳化硅晶圆减薄砂轮的球形复合堆积磨料的制备方法
回收数据中心余热的液-液压缩二氧化碳储能系统 回收数据中心余热的液-液压缩二氧化碳储能系统
一种数字液滴微流控芯片系统和细菌检测方法 一种数字液滴微流控芯片系统和细菌检测方法
一种基于热膨胀差异的孔径自适应响应智能多孔吸液芯和传热装置 一种基于热膨胀差异的孔径自适应响应智能多孔吸液芯和传热装置
技术分类
电信、广播电视和卫星传输服务 电信、广播电视和卫星传输服务
互联网软件服务 互联网软件服务
集成电路设计 集成电路设计
信息集成数字服务 信息集成数字服务
电气机械制造 电气机械制造
计算机、通信、电子设备制造 计算机、通信、电子设备制造
医药制造、生物基材料 医药制造、生物基材料
石油煤矿化学用品加工 石油煤矿化学用品加工
化学原料制品加工 化学原料制品加工
非金属矿物加工 非金属矿物加工
金属制品加工 金属制品加工
专用设备制造 专用设备制造
通用设备制造 通用设备制造
通用零部件制造 通用零部件制造
汽车制造业 汽车制造业
铁路、船舶、航天设备制造 铁路、船舶、航天设备制造
电力、热力生产和供应 电力、热力生产和供应
燃气生产和供应 燃气生产和供应
水生产和供应 水生产和供应
房屋建筑、土木工程 房屋建筑、土木工程
交通运输、仓储和邮政 交通运输、仓储和邮政
农、林、牧、渔业 农、林、牧、渔业
采矿业 采矿业
农副、食品加工 农副、食品加工
烟草、酒水加工 烟草、酒水加工
纺织皮具居家制品 纺织皮具居家制品
文教体娱加工 文教体娱加工
苏ICP备18062519号-5 © 2018-2025 【123技术园】 版权所有,并保留所有权利