电子束曝光设备自动调节系统 [创新发明]
2025-02-02 12:14
No.1335584172819095552
技术概要
PDF全文
本技术涉及一种电子束曝光设备的自动调节系统,该系统允许上位机在操作过程中利用外置相机捕获物镜放大的实像,并进行图像分析。系统根据分析结果自动调整参数,以优化曝光过程,提高精度和效率。
背景技术
电子束曝光设备属于高精密微纳加工大型仪器,其零部件只能从原厂进口,一旦发生损坏,将长时间影响设备使用,耽误科研进度,且零部件价格昂贵,维护成本高。因此,具备该设备的科研单位通常会培养专业人才使用。 目前,电子束曝光设备在进行工作时,需要一个明确的基准位置来确保各个操作的准确性和可重复性。例如,将设备的XYZ轴归零就是建立这样一个固定的参考点。当设备完成归零操作后,后续的所有运动和操作都可以相对于这个原点进行测量和定位,从而使得操作人员能够准确地知道设备的当前位置,并能够精确地控制电子束在不同位置上的曝光。 然而,由于该设备的操作要求较高,操作人员需要较长时间的培训才能允许上机,若操作人员对设备的归零操作流程不熟悉,不仅会因操作失误或操作时间过长导致后续的实验人员无法正常进行实验,还会导致后续的电子束曝光操作的精准度无法把控;并且,该设备的显微镜下安装的相机由于性能原因导致画面延迟过大,从而进一步延长操作时间,并使得实验室的管理及维护成本较高。
实现思路
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该技术已申请专利,如用于商业用途,请联系技术所有人!
技术研发人员:
吴朝阳  曾祥军  李艺杰  李季  徐巍
技术所属: 香港科技大学(广州)
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