本实用新型介绍了一种新型圆形AVG匀胶显影设备,主要由AVG和匀胶吸盘组成。AVG由底部圆盘和其表面的圆形工作片构成,而匀胶吸盘则包括顶部吸盘和相关组件。
背景技术
微纳光栅制作目前是通过在光学玻璃上作业周期性微纳结构后,再与防光晕玻璃(AVG)进行同质粘接使其结合成一个整体,当前直接在圆形防光晕玻璃(AVG)上匀胶显影治具是适用于4,6寸晶圆治具,有以下几个弊端:分别为匀胶时边缘的产品,残胶容易污染吸盘,显影时显影液及水也容易从开孔处进入污染涂胶/显影的吸盘。
实现思路