创新晶圆检测设备
2025-02-06 18:09
No.1337123090391638016
技术概要
PDF全文
本技术介绍了一款新型晶圆检测设备,应用于半导体晶圆检测行业。该设备由工作台、顶部安装架、固定组件和限位组件构成,旨在提高晶圆检测的效率和准确性。
背景技术
晶圆片是制造半导体器件的基础性材料,高纯度的多晶硅经过拉晶形成圆柱形的单晶硅。晶圆片经过一系列的制造工艺形成极微小的电路结构,再经过切割、封装、测试等工序成为芯片,广泛应用到各类电子设备当中,在晶圆片加工的工艺流程当中,需要对加工完成的晶圆进行测试处理,目前晶圆测试过程中存在一定问题。 请参阅公告号为CN219039269U的一种晶圆测试装置,包括:第一安装板;测试板,安装于第一安装板上,测试板上设有用于对晶圆的性能进行测试并反馈至测试板的测试组件;测试板上还设有至少两个电连接器.....测试盒用于收集测试板的测试数据并反馈至上位机;该申请的晶圆测试装置,可以通过几个测试盒、测试板及测试组件即可完成晶圆的测试机数据收集,无需使用庞大的测试机来对晶圆进行测试,从而达到减少了晶圆的测试成本,减少了晶圆测试所需占用的空间,此外,该晶圆测试装置结构简单,便于维护。 上述专利中,探针与装置固定安装连接,在探针发生磨损时不便于对探针进行更换,不便于针对不同型号大小的晶圆进行匹配探测,进而降低了晶圆检测的使用效果,也不便于对晶圆进行限位夹持,使得晶圆在检测时容易发生位移,进而降低了晶圆检测的质量,本申请针对该问题提出一种技术方案来解决该技术问题。
实现思路
阅读余下40%
技术概要为部分技术内容,查看PDF获取完整资料
该技术已申请专利,如用于商业用途,请联系技术所有人!
技术研发人员:
季建松
技术所属: 江阴佳泰电子科技有限公司.
相关技术
一种基于纳米纤维素纤丝和纤维素纳米晶的锌离子电池阳极材料制备方法及应用 一种基于纳米纤维素纤丝和纤维素纳米晶的锌离子电池阳极材料制备方法及应用
应用于双有源桥变换器的高自由度调整策略及优化方法 应用于双有源桥变换器的高自由度调整策略及优化方法
一种转子位置的无传感器检测方法 一种转子位置的无传感器检测方法
一种电解液添加剂、电解液以及应用 一种电解液添加剂、电解液以及应用
一种基于多流股换热的卡诺电池系统 一种基于多流股换热的卡诺电池系统
一种旋转摩擦加电装置 一种旋转摩擦加电装置
一种基于范德华辅助层的二维异质结洁净转移技术 一种基于范德华辅助层的二维异质结洁净转移技术
基于锁频环的并网变流器虚拟惯性控制装置、方法 基于锁频环的并网变流器虚拟惯性控制装置、方法
基于过零点检测的振荡频率提取方法及系统 基于过零点检测的振荡频率提取方法及系统
一种锂电池复合铝箔及其制备方法 一种锂电池复合铝箔及其制备方法
技术分类
电信、广播电视和卫星传输服务 电信、广播电视和卫星传输服务
互联网软件服务 互联网软件服务
集成电路设计 集成电路设计
信息集成数字服务 信息集成数字服务
电气机械制造 电气机械制造
计算机、通信、电子设备制造 计算机、通信、电子设备制造
医药制造、生物基材料 医药制造、生物基材料
石油煤矿化学用品加工 石油煤矿化学用品加工
化学原料制品加工 化学原料制品加工
非金属矿物加工 非金属矿物加工
金属制品加工 金属制品加工
专用设备制造 专用设备制造
通用设备制造 通用设备制造
通用零部件制造 通用零部件制造
汽车制造业 汽车制造业
铁路、船舶、航天设备制造 铁路、船舶、航天设备制造
电力、热力生产和供应 电力、热力生产和供应
燃气生产和供应 燃气生产和供应
水生产和供应 水生产和供应
房屋建筑、土木工程 房屋建筑、土木工程
交通运输、仓储和邮政 交通运输、仓储和邮政
农、林、牧、渔业 农、林、牧、渔业
采矿业 采矿业
农副、食品加工 农副、食品加工
烟草、酒水加工 烟草、酒水加工
纺织皮具居家制品 纺织皮具居家制品
文教体娱加工 文教体娱加工
苏ICP备18062519号-5 © 2018-2025 【123技术园】 版权所有,并保留所有权利