本实用新型涉及一种智能抛光表面质量检测仪,属于检测设备技术领域。该检测仪包含机柜和固定于机柜顶部的机台,旨在提升抛光工艺的表面质量检测效率和准确性。
背景技术
目前,现有技术中的化学机械抛光表面检测装置包括基座,基座下方转动连接有转动轴,基座上表面研磨垫,位于研磨垫边缘表面设有用于修整磨损的修整器,位于研磨垫上方的抛光头,与抛光头相连的轴杆,设置于抛光头上的用于固定晶圆的夹持环。研磨液通过位于研磨垫上方的喷淋头被喷淋至研磨垫表面,晶圆的表面与研磨液发生化学反应,反应后的产物在抛光垫的机械研磨作用下被去除,从而实现晶圆表面的平坦化以及达到对晶圆表面的检测效果。
但是,打磨过程中喷淋头所需的喷淋液需要源源不断的提供,以保证进行化学机械抛光时,不会因喷淋液不足而停止化学机械抛光步骤,现有专利一种抛光表面检测装置,专利授权号为CN 211332765 U中将喷淋头的转动与转动杆连动,且转动杆设置通孔,用转动杆的转动改变通孔的方向从而控制研磨液在补液通道的流通和截止。
但是专利授权号为CN 211332765 U中两个红外线发射器20中的一个红外线发射器20发射出的信号被相应的红外线接收器21所接收,说明晶圆表面出现了不平整的现象,由于红外线发射器20配合红外线接收器21只能对工件点对点进行检测,检测范围有限,无法准确的检测出工件的平整度,通过所以我们提出了一种抛光工艺用智能化表面质量检测仪来解决上述存在的问题。
实现思路