新型冷阱吸附装置与真空系统
2025-02-10 19:12
No.1338588536328429568
技术概要
PDF全文
本项创新技术涵盖了冷阱吸附领域,推出了一款新型冷阱装置及其配套的真空系统。该系统专为真空腔室设计,由安装座、制冷单元和冷凝单元组成。安装座内嵌冷阱腔室,并配备有连接真空腔室的接口。
背景技术
在真空技术领域,提高系统的极限真空度是实验室研究和工业应用中的一项关键挑战。极限真空度是指在真空系统中能够实现的最低压力,这对于确保精确测量、有效防止杂质干扰以及保护敏感设备至关重要。 现有技术中通常在真空系统中安装冷阱装置,利用低温表面来捕获和冷凝残余气体分子。这些气体分子通常具有较高的冷凝点温度,通过冷阱可以有效地将它们从系统中移除。现有技术中的冷阱装置通常通过盘管伸入冷阱腔进行冷阱吸附,其中盘管外表面进行吸热冷凝,盘管内部通冷却液进行制冷,盘管同时兼顾制冷和冷凝作用,导致盘管难以兼顾较大的吸热面积和较高的内压需求。
实现思路
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该技术已申请专利,如用于商业用途,请联系技术所有人!
技术研发人员:
王竹君  昂超
技术所属: 上海科技大学
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