本实用新型涉及一种晶硅端部检测装置,应用于晶硅检测技术领域。该装置包含壳体,壳体内部设有用于放置的空腔,空腔内壁上固定有相机主体,壳体外设有连接结构。
背景技术
在对晶硅进行切削的过程中,利用金钢丝切割网高速传动后,晶硅棒下压进行切割分裂为硅晶片,在加工的过程中,需要检查切削晶硅片的金刚线是否产生弓形现象,如果产生弓形就说明金刚线即将断线,为了减少金刚线断线需要利用摄像设备对晶硅切削过程进行监测。
但是在晶硅棒的切割过程中,需要常常喷洒冷却液对切割位置进行降温,因此冷却液可能会出现飞溅的情况,当冷却液飞溅时有一定几率会接触到检测相机的镜头位置,进而会影响到检测的过程,因此我们提出了一种晶硅端部检测组件。
实现思路