自动化激光直写光刻机台框开合装置
2025-02-13 11:48
No.1339563797396070400
技术概要
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本技术方案属于自动化控制设备领域,专注于激光直写光刻机的台框开合机构。该机构由上台框工作组和下台框工作组构成,两组之间设有相对限位装置,确保精确配合。上台框工作组具备独立操作能力,可实现自动化控制和精确定位,提高光刻机的工作效率和稳定性。
背景技术
激光直写光刻:是指利用激光束的高能量密度和高度聚焦特性,在光刻胶表面进行直接曝光,从而实现对微纳结构的精确刻画。 作为最接近的现有技术,根据中国专利公开号CN112764322A,公开了一种激光直写光刻机长辊式压板机构,包括压板部,压板部包括支撑翼板以及设置于支撑翼板下方的胶辊组件;胶辊组件包括转轴以及套接于转轴上的胶辊,转轴两端均通过线性导向轴与支撑翼板上下滑动连接,线性导向轴下端与转轴固定连接,线性导向轴上端与支撑翼板滑动连接,转轴与支撑翼板之间设置压缩弹簧,压缩弹簧套接于线性导向轴上,该结构采用压合技术,进行限位挤压工作; 但是目前的激光直写光刻机台框开合机构,大多采用上下台框独立控制打开、闭合,使得成本高、结构复杂,存在调控技术复杂的问题,本发明一套机构即可解决上下同时打开闭合工作,能够提高对整体运动的控制效果。
实现思路
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该技术已申请专利,如用于商业用途,请联系技术所有人!
技术研发人员:
刘保华
技术所属: 苏州建高远微电子设备科技有限公司.
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