本项技术披露了一种光栅耦合器,属于光栅技术领域。该耦合器由衬底和光栅层组成,光栅层设置在衬底的一侧,包含波导部与光栅部,光栅部沿光栅层的延伸方向相对排列。
背景技术
光电芯片通过与光纤耦合实现片外光源的输入或片上光信号的输出,光栅耦合器是耦合光电芯片与光纤的常用器件。
随着集成电路的不断发展,传统的电子集成电路在带宽与能耗等方面逐渐接近极限,光子芯片得到大力发展。光子芯片采用光波(电磁波)作为信息传输或数据运算的载体,而光栅耦合器是决定光子芯片光能利用率、探测率的关键器件。因此,如何提高光栅耦合器的效率是目前亟需解决的问题。
实现思路