本技术介绍了一种利用元学习技术的芯片表面缺陷检测网络,该网络由编码器、解码器和检测头顺序连接构成,旨在提升芯片缺陷检测的准确性和效率。
背景技术
随着半导体产业的快速发展,芯片制造过程中的质量控制显得尤为重要。芯片表面的微小缺陷可能严重影响其性能和寿命,因此,精确且高效的缺陷检测成为保证芯片质量的关键环节。
目前,传统的检测方法主要依赖于规则化算法和人工检测,存在着检测效率低、成本高、易受人为因素影响等问题。随着深度学习和计算机视觉技术的进步,基于卷积神经网络(CNN)的目标检测方法逐渐应用于芯片表面缺陷的自动化检测中。然而,由于芯片表面缺陷样本稀少且复杂多变,传统深度学习模型在处理小样本问题时往往表现出泛化能力不足,难以有效应对多种缺陷类型的精确检测。
针对现有技术中存在的不足,亟需一种专门针对芯片表面缺陷特点的目标检测方法,够从少量的样本中快速学习并进行有效的检测,以实现高效、准确的自动化缺陷检测。
实现思路