元学习驱动的芯片缺陷检测网络及其训练与应用
2025-02-14 08:30
No.1339876595997089792
技术概要
PDF全文
本技术介绍了一种利用元学习技术的芯片表面缺陷检测网络,该网络由编码器、解码器和检测头顺序连接构成,旨在提升芯片缺陷检测的准确性和效率。
背景技术
随着半导体产业的快速发展,芯片制造过程中的质量控制显得尤为重要。芯片表面的微小缺陷可能严重影响其性能和寿命,因此,精确且高效的缺陷检测成为保证芯片质量的关键环节。 目前,传统的检测方法主要依赖于规则化算法和人工检测,存在着检测效率低、成本高、易受人为因素影响等问题。随着深度学习和计算机视觉技术的进步,基于卷积神经网络(CNN)的目标检测方法逐渐应用于芯片表面缺陷的自动化检测中。然而,由于芯片表面缺陷样本稀少且复杂多变,传统深度学习模型在处理小样本问题时往往表现出泛化能力不足,难以有效应对多种缺陷类型的精确检测。 针对现有技术中存在的不足,亟需一种专门针对芯片表面缺陷特点的目标检测方法,够从少量的样本中快速学习并进行有效的检测,以实现高效、准确的自动化缺陷检测。
实现思路
阅读余下40%
技术概要为部分技术内容,查看PDF获取完整资料
该技术已申请专利,如用于商业用途,请联系技术所有人!
技术研发人员:
顾寄南  向泓宇  王文波  王翔  高艳  单韵竹  朱永民
技术所属: 江苏大学
相关技术
堆叠物体的物体数量检测方法、装置及系统 堆叠物体的物体数量检测方法、装置及系统
一种适用于水下姿势聚类的方法及装置 一种适用于水下姿势聚类的方法及装置
图像转换方法、装置、计算机设备和存储介质 图像转换方法、装置、计算机设备和存储介质
一种基于光度立体视觉的表面缺陷检测及量化方法 一种基于光度立体视觉的表面缺陷检测及量化方法
人脸识别装置 人脸识别装置
玉米果穗表型分析方法、装置及设备 玉米果穗表型分析方法、装置及设备
焊缝关键点识别方法、装置、设备、介质及程序产品 焊缝关键点识别方法、装置、设备、介质及程序产品
基于三维点云数据的辅助加工质量评估方法、介质及设备 基于三维点云数据的辅助加工质量评估方法、介质及设备
跨令牌引导Transformer的弱监督定位方法 跨令牌引导Transformer的弱监督定位方法
一种基于Mamba的遥感图像作物分类方法 一种基于Mamba的遥感图像作物分类方法
技术分类
电信、广播电视和卫星传输服务 电信、广播电视和卫星传输服务
互联网软件服务 互联网软件服务
集成电路设计 集成电路设计
信息集成数字服务 信息集成数字服务
电气机械制造 电气机械制造
计算机、通信、电子设备制造 计算机、通信、电子设备制造
医药制造、生物基材料 医药制造、生物基材料
石油煤矿化学用品加工 石油煤矿化学用品加工
化学原料制品加工 化学原料制品加工
非金属矿物加工 非金属矿物加工
金属制品加工 金属制品加工
专用设备制造 专用设备制造
通用设备制造 通用设备制造
通用零部件制造 通用零部件制造
汽车制造业 汽车制造业
铁路、船舶、航天设备制造 铁路、船舶、航天设备制造
电力、热力生产和供应 电力、热力生产和供应
燃气生产和供应 燃气生产和供应
水生产和供应 水生产和供应
房屋建筑、土木工程 房屋建筑、土木工程
交通运输、仓储和邮政 交通运输、仓储和邮政
农、林、牧、渔业 农、林、牧、渔业
采矿业 采矿业
农副、食品加工 农副、食品加工
烟草、酒水加工 烟草、酒水加工
纺织皮具居家制品 纺织皮具居家制品
文教体娱加工 文教体娱加工
苏ICP备18062519号-5 © 2018-2025 【123技术园】 版权所有,并保留所有权利