贝叶斯优化技术在铪锆氧薄膜工艺参数优化中的应用
2025-02-15 10:10
No.1340264022397952000
技术概要
PDF全文
本技术涉及一种利用贝叶斯优化技术对铪锆氧薄膜工艺参数进行优化的方法和系统。该方法首先制备铪锆氧薄膜,然后收集薄膜的性能数据,建立工艺参数与性能之间的关系模型,并通过贝叶斯优化算法寻找最优工艺参数,以提高薄膜性能。
背景技术
人工智能发展迅速,对于算力提出了巨大的要求,在这样的背景下存算一体被提出,以期解决传统计算架构存储墙的问题。铁电器件在实现存算一体方面有巨大潜力,但是半导体工艺极其复杂,开发这些支持人工智能芯片的关键流程仍然由流程工程师利用直觉和经验来完成,通常需要反复试验。人工智能在制造新芯片的工艺工程中的应用引起了人们的普遍兴趣。 人工智能有许多计算机算法在复杂任务中表现优于人类的例子,例如玩棋盘游戏,如国际象棋和围棋。然而,在这些情况下,计算机只有在训练或生成大量廉价数据后才能做出决定。相比之下,收集硅晶圆的工艺数据成本高昂,因此,工程师在开发半导体工艺时,通常只测试数百个(数万亿个)不同的参数组合,如压力、功率、反应性气体流量和晶圆温度。与有明确规则的棋盘游戏不同,晶圆反应器系统由晶圆材料、等离子体和反应器部件之间不可估量的微观物理和化学相互作用控制。由于在特定感兴趣区域缺乏足够的数据,因此很难形成具有原子级精度的计算机模型,这被称为“小”数据问题。因此,相对于经验丰富的工艺工程师来说,如何降低开发半导体工艺的目标成本(即最大限度地减少需要收集的数据数量),给人工智能带来了新的挑战。
实现思路
阅读余下40%
技术概要为部分技术内容,查看PDF获取完整资料
该技术已申请专利,如用于商业用途,请联系技术所有人!
技术研发人员:
李秀妍  司梦维  马鑫睿  陈丹旸
技术所属: 上海交通大学
相关技术
一种室内装饰面板的安装结构 一种室内装饰面板的安装结构
一种基于补气原理的高热效储能系统 一种基于补气原理的高热效储能系统
一种旋振式耐磨耐火浇注料智能自适应混料系统 一种旋振式耐磨耐火浇注料智能自适应混料系统
一种基于菱方八面体超材料的节能换热器 一种基于菱方八面体超材料的节能换热器
低钙熟料及其制备方法 低钙熟料及其制备方法
一种可拆卸模块化微流控芯片 一种可拆卸模块化微流控芯片
一种提升矿石碳酸化效率的方法 一种提升矿石碳酸化效率的方法
一种采用链箅机预烧结陶粒的方法 一种采用链箅机预烧结陶粒的方法
一种可控放热的搅拌式风能致热储热一体化系统装置 一种可控放热的搅拌式风能致热储热一体化系统装置
基于贝叶斯优化的铪锆氧薄膜工艺参数优化方法及系统 基于贝叶斯优化的铪锆氧薄膜工艺参数优化方法及系统
技术分类
电信、广播电视和卫星传输服务 电信、广播电视和卫星传输服务
互联网软件服务 互联网软件服务
集成电路设计 集成电路设计
信息集成数字服务 信息集成数字服务
电气机械制造 电气机械制造
计算机、通信、电子设备制造 计算机、通信、电子设备制造
医药制造、生物基材料 医药制造、生物基材料
石油煤矿化学用品加工 石油煤矿化学用品加工
化学原料制品加工 化学原料制品加工
非金属矿物加工 非金属矿物加工
金属制品加工 金属制品加工
专用设备制造 专用设备制造
通用设备制造 通用设备制造
通用零部件制造 通用零部件制造
汽车制造业 汽车制造业
铁路、船舶、航天设备制造 铁路、船舶、航天设备制造
电力、热力生产和供应 电力、热力生产和供应
燃气生产和供应 燃气生产和供应
水生产和供应 水生产和供应
房屋建筑、土木工程 房屋建筑、土木工程
交通运输、仓储和邮政 交通运输、仓储和邮政
农、林、牧、渔业 农、林、牧、渔业
采矿业 采矿业
农副、食品加工 农副、食品加工
烟草、酒水加工 烟草、酒水加工
纺织皮具居家制品 纺织皮具居家制品
文教体娱加工 文教体娱加工
苏ICP备18062519号-5 © 2018-2025 【123技术园】 版权所有,并保留所有权利