一种物镜、物镜系统、光刻机以及物镜用稳压结构的设计方法
2025-02-22 20:17
No.1342953604910424064
技术概要
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本申请提供一种物镜、物镜系统、光刻机以及物镜用稳压结构的设计方法,属于光刻机技术领域。本申请通过在物镜本体的出气口设置稳压管段,可以有效地将瞬态压降转换为稳态压降。从而物镜内部的气体压力波动将被大幅度降低,从而减少由于压力波动引起的折射率变化,提高光学性能的稳定性,由于气体压力的稳定,折射率的变化也将得到有效控制。
背景技术
物镜填充工艺气体主要是为了保证物镜内部污染控制和热效应控制,气体流动引起的折射率随机起伏将导致光学性能的随机变化,它会严重限制不同光学系统的使用性能,甚至决定光学系统的技术可行性。 目前为了有效控制物镜内部气体的压力波动,现有技术主要采取的控制手段是:在厂务气源端和物镜前端之间增加气源压力控制单元,使得气源在进入物镜后压力稳定流动,通常能使Mpa级别的厂务气源压力通过压力控制单元稳定到Kpa级别。 虽然压力控制单元可以将压力稳定到kPa级别的波动,但是一旦物镜腔体设计不良就会引起物镜内部局部压力波动过大,通过现有的Edlen公式计算,其中±40pa的压力波动能引起±0.11ppm的波长(折射率相关公式)计算误差,且这部分误差无法通过传感器监测进行控制。
实现思路
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技术研发人员:
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技术所属: 上海芯东来半导体科技有限公司
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