本技术公开了一种用于降低动态变形的微镜结构,包括镜面、扭转梁、外框架、连接杆和环连杆,所述外框架设置于所述所述镜面的外部,所述外框架连接所述扭转梁;所述连接杆包括I型连接杆、II型连接杆和III型连接杆;所述镜面与所述外框架之间设置有所述I型连接杆、所述III型连接杆和所述环连杆,所述I型连接杆的内端连接所述镜面,所述I型连接杆的外端连接所述环连杆,所述III型连接杆的内端和外端分别连接所述镜面和所述外框架,所述环连杆能够连接相邻两个所述I型连接杆或相邻两个所述III型连接杆或相邻的I型连接杆和III型连接杆;本发明中的用于降低动态变形的微镜结构,在周期旋转运动时能够显著降低动态变形。
背景技术
微镜作为微纳电子机械系统中一类非常重要的器件,在AR/VR、激光雷达、投影显示、3D结构光和光通信等领域有广泛的应用。根据驱动方式微镜大致分为四类:电热微镜、静电微镜、电磁微镜、压电微镜。微镜的性能取决于镜面尺寸、谐振频率、机械角度、结构强度和动态变形等,特别动态变形对高性能投影显示等应用至关重要。
微镜在转动过程中,作用在镜面上的周期惯性载荷会引起镜面产生动态变形。在存在动态变形的情况下,微镜反射光束轮廓的主峰强度降低,而相邻峰的强度变得不可忽略。这有效地导致镜面反射光束的光斑尺寸发生变化,进而导致可分辨光斑之间的对比度降低,从而限制了微镜在高性能应用中的使用。然而在目前的研究中,能够降低微镜动态变形的结构非常少,效果也非常有限,不仅无法适用于不同尺寸的镜面,而且很难用于高谐振频率应用中。此外,很多方法会极大地增加微纳加工制造的复杂度。
综上,为了扩展微镜在高性能应用中的使用,提供一种用于降低动态变形的微镜结构是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
实现思路