一种激光直写系统的曝光异常检测方法
2025-02-24 11:25
No.1343544304148422656
技术概要
PDF全文
本技术涉及一种激光直写系统的曝光异常检测方法,所述激光直写系统设置有曝光区域和检测区域,所述曝光区域用于对工件图像进行曝光,所述检测区域用于对检测图像进行曝光,所述检测区域设置有标记点,根据所述标记点对所述检测图像进行对位曝光,获取曝光后的曝光检测图像的数据信息,根据所述曝光检测图像的数据信息对激光直写系统的曝光异常进行检测。利用检测区域对检测图像进行曝光,便于及时检测激光直写系统是否存在异常,及时处理曝光不合格的工件,减少异常板的流出,及时校正激光直写系统存在的问题,避免产生异常板,有效减少损失。
背景技术
激光直写曝光系统又称影像直接投射系统,可应用于半导体和PCB以及平面成像领域的研发、生产,其原理是利用图形发生器取代传统的掩模技术,直接将计算机的图形数据曝光到产品上,能够节省成本和提高效率。 激光直写曝光系统常用的图形发生器为数字微镜阵列(DMD ,DigitalMicromirror Device)、液晶显示器、旋转多角镜扫描器或者光栅光阀(GLV,Grating LightValve)等。激光直写系统对工件进行曝光时,所述工件上覆盖有光刻胶,通过对所述图像发生器进行控制,根据需要曝光的图像,一部分光线照射所述工件,一部分光线偏离所述工件射出,在所述工件上获得所需曝光的图像,在进行曝光之前,还需要对工件进行对位操作,使得曝光图像正确的投影到工件的对应位置。在曝光过程中,如果对图形发生器的控制出现异常或者在对位过程中存在偏差,会导致曝光结果产生重大的缺陷,如果没有及时的对曝光结果进行监控,有问题的工件会流转到后续的工艺制程进行下一步加工,该问题工件最终只能做报废处理,并且在系统异常未被发现且一直存在的情况下,会持续进行新工件的曝光,最终造成无法挽回的损失。
实现思路
阅读余下40%
技术概要为部分技术内容,查看PDF获取完整资料
该技术已申请专利,如用于商业用途,请联系技术所有人!
技术研发人员:
刘栋胡传武张雷
技术所属: 源卓微纳科技(苏州)股份有限公司.
相关技术
莴苣LsPHYB基因在控制莴苣叶夹角性状中的应用 莴苣LsPHYB基因在控制莴苣叶夹角性状中的应用
相移掩膜板、制备方法及膜层开孔方法 相移掩膜板、制备方法及膜层开孔方法
一种激光直写系统的曝光异常检测方法 一种激光直写系统的曝光异常检测方法
一种改性血液净化滤器膜的制备方法及相应净化器 一种改性血液净化滤器膜的制备方法及相应净化器
一种对IL-6具有结合亲和力的多肽及其用途 一种对IL-6具有结合亲和力的多肽及其用途
紫檀芪衍生物及其制备治疗和/或预防由氧化应激引起相关疾病的药物中的用途 紫檀芪衍生物及其制备治疗和/或预防由氧化应激引起相关疾病的药物中的用途
一种调控辣椒果实中类胡萝卜素合成的CaNAC02基因及应用 一种调控辣椒果实中类胡萝卜素合成的CaNAC02基因及应用
一种吸附放射性废水铯离子的锰硅酸钠介孔硅酸盐复合材料及制备方法与应用 一种吸附放射性废水铯离子的锰硅酸钠介孔硅酸盐复合材料及制备方法与应用
一种高熵钙钛矿氧化物催化剂及其制备方法和应用 一种高熵钙钛矿氧化物催化剂及其制备方法和应用
一种长航时可变气动外形的小型空空导弹 一种长航时可变气动外形的小型空空导弹
技术分类
电信、广播电视和卫星传输服务 电信、广播电视和卫星传输服务
互联网软件服务 互联网软件服务
集成电路设计 集成电路设计
信息集成数字服务 信息集成数字服务
电气机械制造 电气机械制造
计算机、通信、电子设备制造 计算机、通信、电子设备制造
医药制造、生物基材料 医药制造、生物基材料
石油煤矿化学用品加工 石油煤矿化学用品加工
化学原料制品加工 化学原料制品加工
非金属矿物加工 非金属矿物加工
金属制品加工 金属制品加工
专用设备制造 专用设备制造
通用设备制造 通用设备制造
通用零部件制造 通用零部件制造
汽车制造业 汽车制造业
铁路、船舶、航天设备制造 铁路、船舶、航天设备制造
电力、热力生产和供应 电力、热力生产和供应
燃气生产和供应 燃气生产和供应
水生产和供应 水生产和供应
房屋建筑、土木工程 房屋建筑、土木工程
交通运输、仓储和邮政 交通运输、仓储和邮政
农、林、牧、渔业 农、林、牧、渔业
采矿业 采矿业
农副、食品加工 农副、食品加工
烟草、酒水加工 烟草、酒水加工
纺织皮具居家制品 纺织皮具居家制品
文教体娱加工 文教体娱加工
苏ICP备18062519号-5 © 2018-2025 【123技术园】 版权所有,并保留所有权利