本申请涉及一种射频中和器的功率控制方法和射频中和器的功率控制系统,包括:实时检测射频中和器的发射极电流和发射极电压;判断发射极电流是否处于设定电流值的范围内,若是,判断发射极电压是否大于电压阈值;若发射极电压不大于电压阈值,将射频中和器的射频功率减小第一调整量;在经过第一等待时间之后,判断射频功率是否处于稳定状态,当射频功率达到稳定状态之后,继续判断发射极电流是否处于设定电流值的范围内的步骤;若发射极电流低于设定电流值的范围,停止减少射频功率调整;该技术方案,确保了射频中和器的稳定性,延长射频中和器的使用寿命,发射极电流始终保持稳定,增加射频中和器使用寿命,维护更方便更智能。
背景技术
在离子源设备中,需要使用中和器来提供中和电子,而射频中和器由于其稳定的特性,是目前使用效果较好的中和器。射频中和器使用时,发射极电流需要与射频功率相匹配,当发射电流在一个范围内,需要将射频功率调整到一个功率值才能确保稳定,通常情况下,当发射电流在某一个范围内时会用同一个射频功率;例如,发射电流在200-500ma范围内,射频功率为75W,发射电流在501mA-1000mA范围内,射频功率为95W等。
然而,当射频中和器用一段时间后,射频中和器会产生污染等现象,使得射频中和器匹配的射频功率发生变化,因此开始时设定的射频功率就会匹配不足,导致电流达不到设定值,此时需要将射频功率重新设定一个新的射频功率值,常规的方法主要依赖于经验数据去调节操作,调整实时性差,且准确性不足,而且调整的功率值偏差较大会加速中和器的污染,容易导致射频中和器的输出不稳而影响中和效果。
实现思路